2021年2月20日，北京航空航天大学集成电路科学与工程学院正式成立集成电路工艺与装备系。工艺与装备系的成立，是我校高水平建设“集成电路科学与工程”一级学科的关键一步，将大大加快我校在集成电路制造领域服务国家战略需求、助力产业技术突破及培养输送紧缺高层次人才的建设步伐。

　　2015年，包括北航在内的17家高校获批筹建示范性微电子学院，加快集成电路全链条学科建设和人才培养。2018年，北航微电子学院独立运行，开展集成电路材料与器件、工艺与装备、设计与工具等全层面学科体系建设，形成较完整的人才培养方案；与此同时，我院负责筹建北航校级微纳公共创新中心，该中心为集成电路工艺开发及国产装备研发验证提供一流的公共实验平台和产教研融合基地。2020年，国务院正式批准设立“集成电路科学与工程”一级学科，以此为契机，北航微电子学院正式更名为北航集成电路科学与工程学院，并在之前基础上筹建“集成电路工艺与装备系”。

　　北航集成电路学院拥有工信部重点实验室，与业内多个领军企业共建联合实验室，并与海外知名高校开展双博士/硕士培养；牵头建设了支撑微纳全工艺流程及设备研发的校级智能微纳公共创新中心，在微纳先导工艺研发、国产装备技术攻关、特种芯片开发验证等方向上汇聚了一支活跃在国际学术前沿和核心技术前沿的创新团队；近年来承担多项工艺研发及仪器研制项目。学院已经具备了成立集成工艺与装备系的各项环境条件，可支撑集成电路科学与工程学科的全面发展。

　　2021年1月28日，北航集成电路学院组织了海内外专家对工艺与装备系的建设方案进行了论证和评审，专家组认为北航集成电路学院在工艺与装备方向条件完备，特色鲜明。在国家战略及产业需求背景下，建立集成电路工艺与装备系正当其时，此举开集成电路学科建设之先河，振奋人心。

　　工艺与装备系将加大人才培养模式和师资队伍建设的改革探索，对学生基础课程功能重新定位，强化实训要求。突出国际协同育人特色，重点发展企业联培专业硕士、工程博士培养模式。打造“平台+模块”的课程结构，依托学院优质课程、微纳中心实验平台资源，将实验实训植入模块化的课程内容中。与企业合作设立“定向班”，针对集成电路工艺和装备方面紧缺人才开展协同育人；引育高质量产教融合教师队伍，师资队伍双向流动，共建共享教育教学资源，在联合实验室框架下设立课题研究组，以面向产业应用的项目为载体，合作培养行业紧缺高水平研发人才。

　　北航集成电路学院集成电路工艺与装备系将秉承空天报国、敢为人先的北航精神，为学院“十四五”时期建设开好局、起好步，引领集成电路工艺与装备教研体系建设，拓展特色方向，树立北航集成电路特色品牌，加强具有产教融合背景及全球胜任力的创新人才培养。期待与海内外同仁密切合作共赢，也期待未来有更多青年才俊加入欣欣向荣的集成电路工艺与装备系！